دستگاه کندوپاش و تبخیر حرارتی در آزمایشگاه نانو پارک علم و فناوری استان سمنان نصب و راه اندازی شد.
به گزارش پایگاه خبری-تحلیلی فناوری و نوآوری، مدیر مرکز رشد واحدهای فناور شاهرود گفت: سامانه لایه نشانی به روش کندوپاش و تبخیر حرارتی با روش کندوپاشDC و RF و همچنین تبخیر حرارتی جهت لایه نشانی مواد رسانا و نارسانا است و این سامانه دارای ویژگی هایی از جمله امکان استفاده همزمان چندین زیرلایه، چرخش نگهدارنده زیرلایه، خواندن نرخ و ضخامت زیرلایه، دمای قابل کنترل زیرلایه ها و فشار پایه X * 10-6 torr است.
دکتر حمید هراتی زاده افزود: کندوپاش معادل فارسی کلمه sputtering است و این فرآیند یکی از روش های لایه نشانی فیزیکی حالت بخار است.
در این روش یون های با شتاب بالا، پس از برخورد با ماده تارگت، با انتقال انرژی خود باعث جداشدن ماده تارگت و پخش شدن آن در فضا می شوند.
دانشیار دانشگاه شاهرود تصریح کرد: محصولات زیادی با استفاده از کندوپاش به طور صنعتی تولید می شود که از آن جمله می توان به لایه نوری آمورف برای ادوات نوری مجتمع، نورتاب ها در نمایشگرها، ادوات حافظه نوری، ادوات حافظه آمورف، خازن و مقاومت های لایه نازک، دیسک های ویدئویی، الکترولیت های جامد، لیزرهای لایه نازک، تفلون در صنایع خانگی، آلومینیم و فلزات دیر گداز به عنوان رسانا و انواع عایق در صنایع ریزمدار و الکترودهای شفاف روی زیرلایه های شفاف اشاره کرد.
